平面抛光机加工过程中，划痕问题时有发生。划痕来源主要包括磨料颗粒不均、抛光液杂质、设备参数不合理等因素。磨料选择对划痕影响较大，粗磨阶段使用大颗粒磨料，细磨阶段需要及时更换为细颗粒磨料。磨料颗粒夹杂硬质杂物容易在工件表面留下划痕。抛光液杂质清理不及时也可能造成划痕。

工件表面有残留硬质颗粒，设备运转时会被高压摩擦带入表面，形成划痕。抛光机转速过高、接触压力过大也会导致划痕问题加剧。设备运转时，需确保工件表面洁净，避免异物进入加工区域。设备维护不及时，抛光盘表面存在磨损或凸起，也会在工件表面产生划痕。划痕问题的有效解决方案包括严格控制加工环境，合理更换磨料，优化抛光参数。操作人员需定期检查抛光盘磨损情况，保持设备稳定运行。加工后及时清洁工件表面，避免划痕扩散。通过标准化操作流程和定期设备维护，可有效降低划痕发生概率。